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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于在激光维持等离子体光源中提供VUV滤波的等离子体池

US17228543 2021-4-12 发明申请

2021-7-29

一种用于激光维持等离子体光源中的等离子体单元，包括被配置为包含适于产生等离子体的气体的等离子体泡。所述等离子体灯泡对来自泵浦激光器的光是透明的，其中所述等离子体灯泡对由所述等离子体发射的照明的可收集光谱区域的至少一部分是透明的。等离子体单元的等离子体泡被配置为过滤由维持在泡内的等离子体发射的短波长辐射，例如VUV辐射，以防止短波长辐射撞击泡的内表面。