| 一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定方法 |
| CN201910139181.9 2019-2-25 发明申请 |
| 2019-6-14 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定方法，将探针固定在夹持器上，将夹持器固定在XYZ三自由度平台上，采用微力产生装置对探针施加作用力，采用位移测距装置测量探针的悬臂变形量；所述微力产生装置包括永磁铁，所述永磁铁固接在Z向微动平台的动平台底面上，所述永磁铁采用电磁场驱动；使XYZ三自由度平台产生向下的Z向位移z，带动探针的针尖下压Z向微动平台的动平台，z为探针微悬臂的变形量；使电磁场驱动永磁铁上移，控制永磁铁的上移距离为z，获得电磁场输出给永磁铁的微力值F，计算F/z＝k，k为原子力显微镜微悬臂弹性系数。采用本发明能够对原子力显微镜微悬臂的弹性系数进行精确标定。 |
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