一种扫描电镜背散射分析样品台
 
CN201820633616.6  2018-4-29  实用新型

2019-6-14
 
  本实用新型公开了一种扫描电镜背散射分析样品台,属于晶体结构微区取向表征用装置领域。该样品台由定位销和夹具构成,其中夹具由挡板、底座、螺杆、垫片等组成,适用于不同壁厚、不同高度样品的夹持,同时可保证各尺寸样品与探头平行,降低了样品制样的操作难度,不再使用导电胶固定样品,消除了分析过程中样品发生位移的隐患,提高了分析结果的准确性。该样品台具有结构简单、操作便捷、适用性强、制作成本低的特点。
 
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