| 测量设备和基板安装设备。 |
| TH2001002066 2020-4-10 发明申请 |
| 2021-7-12 |
| DEPCT64提供配置用于抑制灰尘对分光镜检测的影响的测量设备。 测量装置包括被配置为将光发射到测量对象上的光源、被配置为产生用于冷却光源的冷却空气的冷却风扇、以及被配置的分光器。 该模型提供光谱分析和检测来自被测物体的反射光，并布置在冷却空气流动的流道中。 该测量装置包括被配置为封装光源和分光器的外壳。 光接收部被配置为将反射光传送到外壳内。 分光镜具有入射部分，反射光穿过接收部分。 冷却风扇产生的冷却空气可以在分光镜的入射侧流动。 -------------------------------------------------- --------- |
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