| 原子力显微镜系统 |
| EP17205415 2017-12-5 发明申请 |
| 2019-6-12 |
| 原子力显微镜系统包括原子力显微镜装置和具有承载衬底的载体表面的衬底载体。 基板具有基板主表面和与基板主表面相对的基板扫描表面。 所述原子力显微镜装置包括包括探针的扫描头。 探针包括悬臂和设置在悬臂上的探针尖端。 所述原子力装置还包括与所述扫描头或所述衬底载体中的至少一个协作的致动器，用于在平行于所述载体表面的一个或多个方向上相对于彼此移动所述探针尖端和所述衬底载体，以扫描所述衬底扫描 具有探针尖端的表面。 信号施加致动器在所述扫描期间向所述衬底施加声输入信号，所述声输入信号产生具有位移方向的第一位移场。 尖端位置检测器在所述扫描期间监测探针尖端相对于扫描头的运动，以获得输出信号。 尖端位置检测器被布置成监测探针尖端在与位移方向正交的方向上的运动。 |
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