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使用空间光调制器的角分辨光谱反射测量
KR1020200041068 2020-4-3 发明授权
2021-6-28
所述空间光调制器(-1),其中所述角分解光谱反射计相对于从光源接收的光将所述光的光束图像横截面调制为空间光调制器图像(SLM)的形状。 物镜物镜被配置为接收调制光并进入样品,接收从样品反射的光,并使调制光通过。 分光计的分光计,其中分光计被配置为接收通过物镜的光并根据波长测量反射光的强度作为电信号。 。
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