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基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统与方法

CN201910649339.7 2019-7-18 发明申请

2019-10-15

本发明公开了一种基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统，包括光源单元、干涉单元、光路分光单元、监控单元、光谱成像单元和数据处理单元，该系统截取了透过狭缝的干涉光，在经过光栅后被分解成单色光，对成像于高速相机上的光谱图像进行分析处理，本发明可快速获取样品轮廓信息，实现高精度表面形貌测量。