| 一种微镜及包含该微镜的激光投影系统 |
| CN201911256880.8 2019-12-9 发明申请 |
| 2021-6-25 |
| 本发明提出一种微镜及包含该微镜的激光投影系统，所述微镜包括镜面、过渡框架、多个柔性弹簧、多个悬臂梁和多个驱动部分，多个所述柔性弹簧、悬臂梁和驱动部分一一对应；所述微镜外围设置有所述过渡框架，所述微镜与所述过渡框架通过多个连接梁连接；多个所述柔性弹簧沿所述过渡框架外侧周向间隔设置，所述悬臂梁的一端通过所述柔性弹簧与所述过渡框架动态连接，所述悬臂梁的另一端与所述驱动部分连接。本发明微镜利用杠杆放大原理将动梳齿的小幅振动放大为镜面的大幅振动，有利于提高微镜的行程或者偏转角度，镜面带刻蚀图案有效对激光束的波前相位进行调制且工艺简单、性能优良，特别适合用于傅里叶变换红外光谱仪和消除激光散斑的投影系统。 |
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