| 干涉仪元件，分光计和干涉仪的工作方法 |
| KR1020217011797 2019-10-22 发明申请 |
| 2021-6-25 |
| 本发明涉及用于光谱仪(100)的干涉仪元件(125)； 所述干涉仪元件(125)被串联地配置在干涉仪元件(125)的光路径(120)上的； 至少一个第一镜像元素(135)； 具有第二镜像元素(140)和第三镜像元素(145)的微机械Fabry-Perot滤波器元素(FPI1； FPI2) 所述第一镜像元件(135)与所述第二镜像元件(140)之间的第一距离(160)和/或所述第二镜像元件(140)和第三镜像元件(145)。 之间的第二距离(165)可以改变。 |
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