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1
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2
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3
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4
生物医药产业抗体药物专利
包括用于波长锁定的亚波长光栅的VCSEL
US17269086 2019-8-26 发明申请
2021-6-24
VCSEL包括衬底和衬底上的外延VSCEL结构。 所述外延VSCEL结构包括谐振腔,所述谐振腔包括增益区,所述增益区设置在第一反射器和部分反射的第二反射器之间。 第一或第二反射器中的至少一个包括第一子波长光栅,以提供用于从VCSEL的光发射的光谱控制。 所述第一子波长光栅可操作以将用于从所述VCSEL发射的光束的波长基本上锁定到由所述光栅限定的波长。
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