| 一种物体形状测量系统、方法和存储介质 |
| CN202010110896.4 2020-2-24 发明申请 |
| 2020-6-5 |
| 本发明公开了一种物体形状测量系统、方法和存储介质。所述系统包括第一干涉装置和第二干涉装置，其中第一干涉装置用于提供具有可变周期光谱的光源，第二干涉装置用于接收第一干涉装置所提供的光源，使得光源产生干涉作用，形成主参考平面和次参考平面，对所述主参考平面或次参考平面所在位置获得成像。本发明通过将被测物体放置在次参考平面附近，当第一干涉装置发射出的光线的光谱周期发生变化，次参考平面与主参考平面之间的相对位置则发生相应变化，相当于在无需依赖机械运动的情况下实现对被测物体表面的扫描，具有结构简单、故障率低、容易维护以及使用成本低等效果。本发明广泛应用于测量技术领域。 |
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