| 透射电子显微镜 |
| JP2018000057 2018-1-4 发明授权 |
| 2019-6-12 |
| 本发明的目的是提供一种装置，通过该装置可以比现有技术更安全和更有效地在电子显微镜内原位观察样品的情况下进行气体处理操作。 所述装置包括 : 一种具有用于保持样品(13)的样品保持器(6)的镜体， 真空中的样品室(12)，用于容纳样品保持器(6)，由此保持样品(13)， 电子源(2)，用于将电子束照射到被保持的样品(13)上；以及检测器，用于检测通过电子束照射从样品获得的信号； 以及气体供应单元，用于将气体引入到所述镜体中。 气体供应单元包括气体容器容纳部分(11a)，该气体容器容纳部分容纳小型气体容器(16a)， 以及气体导入喷嘴(14)，通过该气体导入喷嘴(14)，收容在气体容器收容部(11a)内的每个气体容器内的气体被导入到至少容纳在真空中保持在样品室内的样品的区域中。 气体容器容纳部分(11a)设置在镜体的外部和样品容纳位置的附近。 |
微信公众号