| 一种原子力显微镜中激励探针振动的方法 |
| CN201711249013.2 2017-12-1 发明申请 |
| 2019-6-11 |
| 本发明提供一种原子力显微镜中激励探针振动的方法，在所述探针下方设置压电换能器，该压电换能器在信号源作用下产生竖直方向的机械振动，探针在该机械振动波激励下发生振动。与现有的采用探针驱动器激励悬臂振动，从而带动探针振动的方法相比，本发明中探针针尖更容易挣脱样品表面的粘附力和毛细管力的作用进行稳定的振动，有利于稳定地扫描成像，获得高分辨率的扫描图像，并且降低了对悬臂的高性能要求。 |
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