| 扫描电子显微镜装置及用於经由一薄膜之一光罩的成像之方法 |
| TW105103590 2016-2-3 发明授权 |
| 2019-6-11 |
| 本发明揭示一种用於经由一保护薄膜使一样本成像之系统该系统包含经组态以产生一电子束之一电子束源及经组态以固定一样本与一薄膜之一样本载物台，其中该薄膜被安置在该样本上方该系统亦包含一电子-光学柱，该电子-光学柱包含一组电子-光学元件以将该电子束之至少一部分引导穿过该薄膜且至该样本之一部分上另外，该系统包含一侦测器总成，该侦测器总成被定位在该薄膜上方且经组态以侦测从该样本之表面放射之电子 |
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