用于高压环境下真空紫外测量的光谱仪
 
US16296437  2019-3-8  发明申请

2019-9-19
 
  公开了一种光谱仪装置。 该设备可以包括光源,并且该光源可以包括用于在腔室的内部体积内维持等离子体的腔室。 该装置还可以包括光谱仪腔和无窗入口狭缝。 无窗口入口狭缝可将光谱仪腔与光源的腔室的内部容积流体地和光学地耦合。 此外,该装置可包括设置在光谱仪腔内的衍射元件和位于光谱仪腔的与无窗口狭缝相对端处的窗口。 该设备还可以包括照相机和光谱仪。
 
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