| 一种ICP光谱仪光学系统 |
| CN202110138916.3 2021-2-1 发明申请 |
| 2021-6-11 |
| 本发明提供了一种ICP光谱仪光学系统，涉及光学仪器技术领域，包括：光室系统以及透射前置光路组件，在透射前置光路组件中采用两块镀膜紫外融石英的双凸透镜，在增加光通量的基础上，延长了透射前置光路组件的长度，避免CCD检测器距离光源太近对其产生电磁干扰；同时将复合光通过快门单元的光阑限制进行杂光抑制，后入射至非球面准直镜，再入射到棱镜和中阶梯光栅封装在一个黑盒子内，其只保留的入射和出射的光通路，解决了现有光谱仪棱镜反射杂光和光栅多级次杂光影响问题，而只有非球面准直镜、非球面聚焦镜位置的调整，取消中阶梯光栅的可调而带来的复杂性，优化了整机光学系统装调的效率和精度。 |
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