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多层衍射光栅
JP2019220032 2019-12-5 发明申请
2021-6-10
[A]容易制造,衍射光栅的衍射效率高。 [解决方案]电磁波(电磁波光谱试验)对软X射线的全反射条件不进入表面材料的内部深处的区域, 通常用作反射膜反射材料,例如具有高密度和低密度材料层的金属膜,该材料层在衍射光栅层的表面上包括多对膜, 通过软X射线区域进入膜深度的一对衍射光能,具有相对于光以最佳衍射效率的周期长度沉积的宽能量。 图5[附图]
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