| 关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片 |
| CN201822071934.0 2018-12-11 实用新型 |
| 2019-6-7 |
| 该实用新型涉及一种关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片，用于监测关键尺寸扫描电子显微镜观测以监测关键尺寸扫描电子显微镜的缺陷状况，包括：裸晶圆；光阻条，形成于裸晶圆上表面，光阻条在关键尺寸扫描电子显微镜具有气流缺陷时发生崩塌，用户通过监测光阻条的崩塌状况来确定关键尺寸扫描电子显微镜是否有气流缺陷。本实用新型的关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片具有光阻条，通过监测关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片的崩塌与否，就可以检测关键尺寸扫描电子显微镜的气流缺陷，还可以实现对关键尺寸扫描电子显微镜的颗粒缺陷的监测，简单方便。 |
微信公众号