| 温度量测系统及温度量测方法 |
| TW109133066 2020-9-24 发明申请 |
| 2021-6-1 |
| 本发明提供一种能够高精度地对测定对象物之温度进行测定之方法。; 本发明之温度量测系统对具有第1主面及与第1主面对向之第2主面的测定对象物之温度进行量测且具备：输出光之光源部该输出光包含第1波长区域及与第1波长区域不同之第2波长区域并穿透测定对象物；测定部其测定来自第1主面及第2主面之反射光之光谱；光程长度比计算部其借由对光谱进行傅立叶变换计算出第1光程长度与第2光程长度之比即光程长度比上述第1光程长度系与第1波长区域之输出光相关之光程长度上述第2光程长度系与第2波长区域之输出光相关之光程长度；及温度计算部其基于第1折射率与第2折射率之比即折射率比和测定对象物之温度的预先取得之关系、以及光程长度比计算出测定对象物之温度上述第1折射率系与第1波长区域之输出光相关之测定对象物之折射率上述第2折射率系与第2波长区域之输出光相关之测定对象物之折射率。 |
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