| 片上集成啁啾光栅光谱仪 |
| WOUS20061192 2020-11-19 发明申请 |
| 2021-5-27 |
| 公开了一种光谱传感器和用于形成该光谱传感器的方法。 该光谱传感器包括：在衬底上的平面波导； 限制入射到啁啾输入耦合光栅上的光的入射角范围的限制机构； 所述啁啾输入光栅被形成为将入射光耦合到所述平面波导中，其中所述啁啾输入耦合光栅包括第一横向啁啾，以提供入射光到所述平面波导中的光谱选择性耦合； 用于滤除未耦合到平面波导中的光的传播区域； 检测器阵列，其布置在传播区域的与啁啾输入耦合光栅相反的一侧，以接收从平面波导耦合出的光，并产生表示光的输出信号； 以及从检测器阵列读出输出信号的电路。 |
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