| 紧凑型干涉仪光谱仪 |
| US16325581 2017-8-17 发明申请 |
| 2019-6-13 |
| 公开了一种公共路径干涉仪。 干涉仪被布置成将输入光束分成第一光束部分和第二光束部分,所述第一光束部分和第二光束部分以相反的方向围绕循环路径定向,以在检测器处形成干涉图案。 循环路径由在循环路径的平面中弯曲的至少两个反射镜区域限定,使得干涉图案表示第一和第二光束部分之间的路径差变化。 所述干涉仪还包括在将所述输入光束分成所述光束部分之前布置在所述光束路径中的输入光学器件。 所述输入光学器件被配置为提供会聚,以减小与所述检测器处的所述干涉图案的所述循环路径的所述平面横向的程度。 光束部分和光束部分在循环路径的平面内和横向于循环路径的平面具有不同的会聚要求,它们分别由反射镜区域和输入光学器件寻址。 |