| 光学干涉仪 |
| KR1020190124379 2019-10-8 发明授权 |
| 2021-5-24 |
| 公开了一种光学干涉系统。 一种光干涉系统，包括：产生光的光源。 一种主干涉仪，用于通过干涉从参考镜反射的参考光和由光源产生的光的物镜从样品反射的测量光来产生主干涉仪。 一种辅助干涉仪，用于通过干扰从与样品相邻的辅助镜和与参考镜相邻的辅助镜反射的振动噪声的测量光来产生辅助干扰信号，以测量不希望的噪声信号。 用于检测主干涉信号和辅助干涉信号的传感单元根据主干涉信号和辅助干涉信号的光谱分析确定主干涉信号和辅助干涉信号的光轴位置是包括振动信号的光轴位置 和/或不希望的噪声信号。 控制单元通过辅助干涉信号的光轴位置变化量将主干涉信号的光轴位置改变为原始光轴位置。 |
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