| 扫描探针显微镜的测量装置，扫描探针显微镜和用扫描探针显微镜扫描探针显微镜测定一个或多个试样的方法 |
| US16205629 2018-11-30 发明申请 |
| 2019-6-6 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的测量装置，包括测量探针，其上设置有测量探针的第一探针保持装置， 一种检测装置，包括 : 测量光源，适于提供指向测量探头的光束；传感器装置，适于在操作期间接收从测量探头反射的测量光束。 第一测量装置，其中具有测量探头的第一探头保持装置布置在与检测装置间隔开的第一位置， 以及第二测量装置，其中加长装置可更换地设置在检测装置和测量探头之间，该加长装置以第一探头保持装置或第二探头保持装置可更换的方式加长光束和测量光束的相应光束路径。 与所述第一探针保持装置不同的第二探针保持装置被布置成与所述检测装置在大于所述第一位置间隔的第二位置间隔处测量所述探针。 |
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