| 用于多光束扫描电子显微镜系统的聚焦调整的方法和系统 |
| US16253106 2019-1-21 发明申请 |
| 2019-6-6 |
| 公开了一种扫描电子显微镜系统。 所述系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 所述SEM子系统包括多束电子源，所述多束电子源被配置为形成多个电子束， 一种样品台，其被配置为固定样品；电子光学组件，其将电子束引导到样品的一部分上；以及检测器组件，其被配置为同时采集样品表面的多个图像。 所述系统包括控制器，所述控制器被配置为从所述检测器组件接收所述图像， 通过分析图像的一个或多个图像质量参数来识别图像的最佳聚焦图像，并且基于与所识别的最佳聚焦图像相对应的电子束的焦点来引导多透镜阵列调整一个或多个电子束的焦点。 |
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