| 一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置 |
| CN201910139180.4 2019-2-25 发明申请 |
| 2019-6-4 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置，包括微力产生装置、探针及其固定装置和位移测距装置；所述微力产生装置包括永磁铁，所述永磁铁固接在Z向微动平台的动平台底面上，所述永磁铁采用电磁场驱动；所述固定装置包括夹持器和XYZ三自由度平台，所述夹持器固定在XYZ三自由度平台上，所述探针固定在夹持器上；所述位移测距装置固装在所述动平台上方，用于测量所述Z向微动平台的输出位移；所述微力产生装置、所述Z向微动平台和所述位移测距装置同轴设置，标定时，所述探针的针尖压置在所述动平台的中心处。采用本发明能够对原子力显微镜微悬臂的弹性系数进行精确标定。 |
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