| 光学镀膜透镜中心厚度测量装置及方法 |
| CN201711076592.5 2017-11-6 发明申请 |
| 2018-5-4 |
| 本发明公开了光学镀膜透镜中心厚度测量装置及方法，包括光源、分光装置、光学探头、光谱仪和计算机；所述光源和分光装置相连，所述分光装置、所述光学探头和被测镀膜透镜的中心位于同一光路上，且按照光路方向先后依次排列；所述分光装置的光入射端与所述光谱仪相连接，所述光谱仪与所述计算机相连接；所述分光装置与所述光学探头由支撑架固定，所述被测镀膜透镜由位于载物台上的夹具固定；所述光源依次经所述分光装置与所述光学探头之后，其光斑能够打在所述夹具的中心位置；所述计算机通过对光谱数据处理计算得出镀膜透镜中心的厚度值。本发明无需直接接触样品，不会对样品表面造成损失；使用本发明拟合的厚度计算方法，精度大大提高。 |
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