| 一种基于多棱镜组件的均光照明光学系统 |
| CN202010215160.3 2020-3-24 发明申请 |
| 2020-7-17 |
| 本发明是一种基于多棱镜组件的均光照明光学系统。所述系统包括：耦合光学系统、微镜器件光学系统、多棱镜组件、多个光源系统、光源及其光源系统和微镜器件，所述微镜器件光学系统还包括投影光学系统；所述光源光源及其光源系统出射端照射多棱镜组件入射端，所述多个光源系统出射端照射所述多棱镜组件的入射端，所述多棱镜组件出射端照射微镜器件光学系统的入射端，所述微镜器件光学系统出射端照射耦合光学系统的入射端。本发明可用于实现微反射镜阵列器件投影行业，和微反射镜阵列器件的诸如3D打印、光谱仪等行业。可以实现投影光源的均匀性及光能利用率要求，微反射镜阵列器件投影系统或模拟器系统的最佳投影像质及光源最大光能利用率。 |
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