| 基于X射线激发荧光的晶体缺陷密度空间分布测试系统与方法 |
| CN202011437890.4 2020-12-10 发明申请 |
| 2021-4-23 |
| 本发明公开了基于X射线激发荧光的晶体缺陷密度空间分布测试系统与方法，包括测试系统，所述方法包括以下步骤：打开所述测试系统；选择面扫描方式；根据样品的发光强度，设定光谱仪采集时间并根据采集时间收集并扣除背景光谱；加载电控三维位移台的路径文件；打开X射线光管，设定其电压电流来控制X射线的剂量；开始测试，对测得的光谱进行高斯拟合，并自动提取空间每个位置的射线荧光光谱的峰强、峰位以及半高峰宽。本发明的有益效果在于，可以得到样品晶体每个点的射线荧光光谱。同时，在每一点测试过程中，对测得的光谱进行高斯拟合，并自动提取空间每个位置的射线荧光光谱的峰强、峰位以及半高峰宽。 |
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