| 无机光谱仪 |
| JP2019239320 2019-12-27 发明申请 |
| 2021-4-15 |
| [问题]提高光谱仪无机技术的精确度和灵敏度。 3+3+或更多不同价态的大电流离子束电流[A]以产生多价离子源1， 与多价离子源相连， 电流量， 电流和微量电流屏蔽小粒子束， 被吸收， 测量， 电流迹线分析系统2-2输出的前端， 与前端分析系统相连， 迹线中极少量的电流用于消除背景， 静电分析仪包括3-1，3-2和3-3的后端分析系统和包括能量吸收膜的扇形段，后端分析系统连接，用于接收痕量同位素，以及用于测量超痕量同位素的离子检测器，包括后端分析系统。 图1[附图] |
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