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一种水平检测机构及扫描电子显微镜
CN201821935785.1 2018-11-22 实用新型
2019-5-31
本实用新型提供一种水平检测机构及扫描电子显微镜,水平检测机构包括壳体、弹性部、压力传感器及触发部。壳体具有空腔。弹性部容纳于空腔内。压力传感器设置于弹性部的至少一端。触发部具有相对的第一端和第二端,第一端位于空腔外,第二端位于空腔内,第一端受朝向第二端的外力时,第二端挤压弹性部,使得弹性部所受压力发生改变,压力传感器能够感测弹性部的压力变化。
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