| 扫描电子显微镜物镜系统和用于样品观察的方法 |
| WOCN18085300 2018-5-2 发明申请 |
| 2019-5-31 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括 : 磁性透镜，偏转装置，偏转控制电极，待观察样品和检测装置； 其中，磁性透镜的极片的开口面向样品； 偏转装置位于磁性透镜中，该磁性透镜包括至少一个子偏转器； 偏转控制电极位于检测装置与样品之间，偏转控制电极用于改变从样品产生的一次电子束和信号电子的方向； 所述检测装置包括用于检测所述背散射电子的第一子检测器和用于检测所述第二电子的第二子检测器。 本发明还公开了一种样品检测方法。 |
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