| 基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法 |
| CN201910395069.1 2019-5-13 发明申请 |
| 2019-8-30 |
| 本发明提供基于白光干涉光谱的同步相移测量系统，包括：光源单元、测量干涉单元、图像探测单元、光谱干涉单元和数据处理单元；其中所述光源单元对照明光源生成偏振光源信号；所述测量干涉单元对偏振光源信号处理生成测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S；所述图像探测单元将测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S一部分通过CCD相机前的检偏器形成干涉，被CCD相机探测处理，一部分传输给所述光谱干涉单元；所述光谱干涉单元对部分的振光源信号P和参考偏振光源信号S再次分光生成具有90°相位差的干涉信号传输给数据处理单元，该系统通过引入空间相移，对具有90°相位差的两帧光谱干涉信号进行分析，实现对表面形貌的快速高精度测量。 |
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