| 使用像素计数调制的光谱通道的片上光谱仪及其制造方法 |
| US16051834 2018-8-1 发明申请 |
| 2019-2-7 |
| 在衬底上形成传感器像素阵列，并且信号处理单元连接到传感器像素阵列。 所述信号处理单元包括多个光谱通道，所述多个光谱通道由至少一个相关联的传感器像素的每个滤光片的相应透射曲线限定。 传感器像素中的每一个包括相应的光电检测器和相应的滤光片的叠层。 每个光谱通道接收来自一个或多个传感器像素的输出信号，所述传感器像素包括具有相同透射曲线的滤光片。 至少一个光谱通道具有比多个光谱通道中的另一个光谱通道更多数量的传感器像素。 光谱通道的不同数量的像素可用于补偿作为波长函数的传感器效率的变化。 对传感器增益的调整可以通过对不同光谱信道使用不同数量的像素而被最小化。 |
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