| 分光计及分光计的制造方法 |
| KR1020217002757 2019-7-9 发明申请 |
| 2021-3-31 |
| 本发明是具有法布里载流子衬底Perot(FP)的1-TS1干涉仪单元，其中第一-1载流子衬底TS1设置在Perot-Ep干涉仪单元U的下表面(Fabry)上，并且具有光学孔径NA(Fabry)。 上述Perot-FP干涉仪单元。 U是Perot-FP干涉仪单元O的底面Fabry的相对侧， 设置在两级干涉仪单元(K，2)的上表面(1)上，第(1)基板(TS1)的下表面(S)设置在第(U)基板(2K)上； 和/或2s)衬底S(1)。 光检测器装置(2)配置在(S)基板(1)上或其内部和/或其内部和/或第(k)基板上。 光检测器装置1的第一和PD电连接区域A1以及Perot-FP干涉仪单元2的AT法布里电连接区域A2与包括光检测器装置10的光谱仪装置PD相关， 它们可以在同一方向上电接触。 |
微信公众号