| 具有单原子端接结构的离子源和电子源，具有单原子端接结构的尖端，气场离子源，聚焦离子束装置，电子源，电子显微镜，掩模修复装置以及具有单原子端接结构的尖端的制造方法 |
| US16203078 2018-11-28 发明申请 |
| 2019-5-30 |
| 本发明提供了一种尖端，其能够重复地再生其中远端仅由一个原子形成的单原子端接结构。 一种具有单原子端接结构的尖端(1)，包括 : 由第一金属材料制成的细线构件(2)； 由第二金属材料制成的突起部分(4)，该突起部分至少形成在细线构件(2)的远端部分(2a)中，并且具有仅以一个原子终止的远端； 以及由第二金属材料制成的供给部分(5)，该供给部分被供给到突出部分(4)，该突出部分形成在细线构件(2)的远端部分(2a)附近。 |
微信公众号