| 一种InGaAs多线列光敏芯片及其应用 |
| CN202011358808.9 2020-11-27 发明申请 |
| 2021-3-26 |
| 本发明涉及一种InGaAs多线列光敏芯片及其应用，属于红外探测器技术领域。所述多线列光敏芯片为不同线列光敏元上沉积有尺寸以及成分不同的带通膜的InGaAs芯片，能够实现同时吸收不同波段光谱，还有利于简化光谱仪的结构，提高仪器的稳定性与长期可靠性，对微型光谱仪的技术发展具有重要意义；基于本发明所述InGaAs多线列光敏芯片的探测器组件，通过线扫描方式能够同时将不同波段光谱信息采集，大大提高探测器组件的多光谱成像能力和识别效率，而且结构简单，具有良好的稳定性以及较高的可靠性，可广泛应用于目标识别、生物医学、科学研究和卫星遥感方面等。 |
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