| 用于电子显微镜的具有扫描透射电子显微镜(STEM)功能的可拆卸样品室和包括该样品室的电子显微镜 |
| KR1020180070087 2018-6-19 发明授权 |
| 2019-5-29 |
| 本发明涉及样品室可拆卸式样品扫描电子显微镜(SEM)的顶面与真空缸座内的荧光发生单元， 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)功能可以是具有该功能的电子显微镜样品室装置，涉及电子显微镜， 本发明的装置是扫描电子显微镜(SEM)，该扫描电子显微镜的样品室在真空封闭器的作用下可释放地附连样品架和样品室，得到2个圆柱形的样品室， 当样品室暴露于大气压力时样品移动并存储多层感知器通过室2排出液体样品以及样品保持器不接触封闭路径空间而形成扫描电子显微镜(STEM)可扩散到扫描功能。 另外，荧光发生部(闪烁体)的样品保持器具有所述荧光发生部，用于产生通过明场图像暗场图像开关采集的荧光光学传感器测量模块。 |
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