| 一种双探针原子力显微镜 |
| CN201910212152.0 2019-3-20 发明申请 |
| 2019-5-24 |
| 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种双探针原子力显微镜。所述双探针原子力显微镜包括两组力学检测组件、两组光热激励组件、两组探针组件和光学组件，力学检测组件包括发射检测用激光的力学检测激光器，光热激励组件包括发射光热用激光的光热激光器，探针组件包括微悬臂和固定于微悬臂上的探针针尖，光学组件能够使检测用激光聚焦于微悬臂的前端，并使光热用激光聚焦于微悬臂的后端。本发明采用两组探针组件，检测灵敏度高；采用光热激励组件控制微悬臂的振动频率，避免了机械杂峰的出现，两组力学检测组件和两组光热激励组件均共用一组光学组件，结构紧凑。 |
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