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具有MEMS法布里-珀瑞干涉仪的光谱仪封装

DE102019213286 2019-9-3 发明申请

2021-3-4

本发明涉及一种具有法布里-珀罗干涉仪的光谱仪封装，其直接设置在所述光谱仪封装的第一布线衬底上，其中所述光谱仪封装的光电探测器支撑在所述第一布线衬底的空腔内。