| 用扫描电镜CDSEM表征的方法 |
| FR16062505 2016-12-15 发明授权 |
| 2019-5-24 |
| 本发明的主题是一种用于实施技术的方法(100)， 称为CD-SEM技术，用于通过扫描电子显微镜进行表征，用于在尺寸计量领域中确定样品结构的至少一个关键尺寸，所述方法包括以下步骤 : -产生(图像)实验图像； 基于基于参数数学函数的第一理论模型， 计算(model)第二理论模型u(pi， ti)描述时间ti时位置pi处的测量信号，所述第二模型u(pi，ti)通过校正项s(pi，ti)的代数求和而获得； 确定(FIT)存在于第二理论模型中的参数集； 所述方法的特征在于，所述校正项S(pi，ti)是通过将源自由初级电子束在小于或等于ti的多次t处沉积的电荷的信号相加而计算的。 |
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