| 提供用于扫描探针显微镜的探针装置的方法 |
| DE102017127645 2017-11-23 发明申请 |
| 2019-5-23 |
| 本发明涉及一种用于提供用于扫描探针显微镜的探针装置(2)的方法， 尤其用于原子力显微镜，其中扫描探针显微镜借助于悬臂(3)上的探针装置(2)设置有用于测量样品的具有锐利几何形状的尖端(1)。 根据本发明，在所选择的峰值生产工艺步骤上游的尖端(1)中，尖端几何形状产生基本形状定义项， 通过模拟计算机(9)的测量特性，评估(10)所请求的测量特性，并作为评估(10)的函数改变尖端几何形状(11)，相对于尖端几何形状优化所请求的测量特性。 此外，本发明涉及一种用于扫描探针显微镜，特别是原子力显微镜的探针装置(2)，该探针装置具有悬臂(3)和在悬臂(3)上在纳米范围内形成的尖端(1)，待测样品是可扫描的。 |
微信公众号