| 用于光谱分析的干涉式光学模块 |
| US16456709 2019-6-28 发明申请 |
| 2020-12-31 |
| 一种光学模块，包括：具有可移动反射镜和固定反射镜的反射镜单元； 分束器单元； 使测量光入射到分束器单元的光入射单元； 检测测量光的干涉光的第一光检测器； 发射激光的第二光源； 检测激光的干涉光的第二光检测器； 第一反射镜，其允许测量光透过并反射激光； 反射部分激光并允许剩余激光透过的第二反射镜； 反射激光的第三反射镜； 以及返回光抑制单元，其抑制所述激光成为返回光，并且相对于所述第二反射镜设置在与所述第二光学装置相对的一侧。 |
微信公众号