| X射线荧光光谱仪 |
| EP17200054 2017-11-6 发明申请 |
| 2019-5-8 |
| 本发明涉及一种X射线荧光， XRF， 光谱仪(10)， 为了测量由靶(7)发射的X射线荧光， 其中XRF光谱仪(10)包括具有阳极(2)的X射线管(1)，阳极发射发散的X射线束(3a)， 毛细管透镜(6)，其被配置为将发散的X射线束(3a)聚焦在靶(7)上； 位于X射线管(1)的阳极(2)和毛细透镜(6)之间的孔径系统(4)，该孔径系统包括至少一个针孔(9a)， 9b)， 以及检测器(8)，被配置为检测由靶(7)发射的X射线荧光辐射， 其中，所述至少一个针孔(9a， 本发明还涉及一种用于光谱仪的孔径系统(4)，所述孔径系统(4)包括至少一个阳极(2)和至少一个毛细管透镜(6)，所述毛细管透镜(6)设置成用于插入所述发散X射线束(3a)中并且用于减小所述阳极(2)和所述毛细管透镜(6)之间的所述发散X射线束(3a)的束横截面(5a)。 (10)，孔径系统(4)用于调节光谱仪(10)的焦深的用途，以及用于调节AS光谱仪(10)的焦深的方法。 |
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