| 阴极发光SEM中的精确波长校准 |
| EP20191984 2020-8-20 发明申请 |
| 2021-2-24 |
| 一种具有光谱仪的扫描电子显微镜，所述光谱仪具有具有多个像素的传感器，其中所述光谱仪将不同波长的收集光引导到不同的像素上。 形成光学模型，并使误差函数最小化以求出该模型的值，从而可以使用该模型来校正波长检测。 该模型可以校正由诸如电子束在样品上的运动，由光学元件引入的像差以及光学元件的缺陷等效应产生的误差。 也可以使用校正函数来考虑未被光学模型捕获的影响。 因此校准了阴极发光光谱仪。 |
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