| 测量毛细凝结的半导体结构 |
| WOUS17030267 2017-4-28 发明申请 |
| 2017-11-9 |
| 几何结构进行光学测量的方法和系统通过毛细填充缩聚，这里给出的。测量在测量的同时进行结构处理的吹扫气体流量，其包括控制填充材料量。所述填充材料的一部分凝结到被测结构中并且填充了开孔的结构特点，结构特征之间的空间，小体积的诸如缺口，沟槽；狭缝，接触孔；蒸发材料等的饱和度的基础上调整了气体料流中的最大特征尺寸被填充。在一些实施例中，测量数据，如光谱分析数据或图像数据，结构时收集未填充结构填充时通过毛细凝结现象。将采集到的数据进行组合，提高测量性能。 |
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