| 一种原子力显微镜探针装卡辅助装置 |
| CN201821540839.4 2018-9-20 实用新型 |
| 2019-5-21 |
| 一种原子力显微镜探针装卡辅助装置用于原子力显微镜的探针装卡，由基座、支撑柱、探针引导槽、特制叉子四部分组成。探针引导槽高度位置由支撑柱调整，前后位置由螺杆调整。安装探针时，先粗调装置基座，使探针引导槽前端与探针夹接近；然后细调使探针引导槽前端的定位槽与探针槽基座相合，再细调使探针引导槽直槽底面与探针槽底面连成一面；将探针放置于探针引导槽后，用叉子推动探针基片，使探针准确装恰到探针槽内。本实用新型可以显著提高探针装卡的成功率，并使装卡完成后的探针与放置基片的微槽底部垂直，提高原子显微镜实验结果的准确性。 |
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