| 基于高分辨率集成光学的光谱仪 |
| US16335587 2017-9-26 发明申请 |
| 2020-1-23 |
| 本发明公开了一种高分辨率单片光谱仪。 本发明的实施例类似于傅立叶变换光谱仪； 然而，本发明的实施例没有运动部件。 示例性实施例是具有嵌套的多个马赫-曾德干涉仪(MZI)的光谱仪，其中所有MZI在其每个样品臂和参考臂中共享至少一个表面波导部分。 样品臂和参考臂中的光信号通过电光控制的定向耦合器在沿其长度的一系列离散位置分接， 它们由每个臂中的等长波导部分隔开，但是在样品臂和参考臂中的等长波导部分是不同的，这为每个MZI的臂提供了不同的路径长度差。 在低损耗光束组合器处重新组合来自样品臂和参考臂的抽头光，以产生作为臂中的时延差的函数的光功率分布。 |
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