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X射线光谱仪
US15865992 2018-1-9 发明申请
2019-2-28
一种X射线光谱仪,包括 : 产生第一X射线的X射线等离子体源; 与所述X射线等离子体源光通信的X射线光学器件,其 : 从所述X射线等离子体源接收所述第一X射线; 将第一X射线聚焦以产生第二X射线; 以及响应于接收到第二X射线和第二光,将第二X射线传送到产生产物X射线的样品; 以及与样品光通信并接收来自样品的产物X射线的微热量计阵列检测器。
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