| 标记，覆盖物目标，以及覆盖物的对准和方法 |
| JP2020519417 2018-8-23 发明申请 |
| 2021-1-14 |
| 谐振振幅光栅标记具有周期性结构，该周期性结构被配置为散射入射在对准标记的表面平面上的辐射。 该散射主要是通过平行于表面平面的周期性结构中的共振模式的激发。 周期性结构的部分的有效折射率和长度被配置为提供单位单元在周期性方向上的等于辐射的光谱中存在的波长的整数倍的光路长度。 所述部分的有效折射率和长度还被配置为提供第二部分在周期性方向上的光程长度，所述周期性方向等于辐射光谱中存在的波长的一半。 |
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