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多束粒子显微镜

DE102018202428 2018-2-16 发明授权

2019-5-9

一种多束粒子显微镜，具有多束粒子源300，物镜102，物镜与物平面101102之间的检测器阵列200，以及设置有多个开口的多孔径板11。所述多孔径板包括多个转换器，所述转换器将在电子背散射中在物体上产生的电子中的初级粒子束转换成较低的能量，提供由所述检测器阵列检测到的电子束形成的电子。